Фоторезист ФН-11С
Негативный фоторезист ФН-11C, ФН-11СК
ТУ 2378-025-05784466-2004
Предназначены для реализации фотолитографических процессов в производстве интегральных микросхем, масок, гибких выводных рамок на основе фольгированных диэлектриков, печатных микроплат, форм, и других изделий с использованием кислых и щелочных травителей металлов и сплавов (медь, алюминий, нихром и др.), для гальванического осаждения металлов.
Технические характеристики
| No | Характеристики | Норма | |
| ФН-11С | ФН-11СК | ||
| 1 | Внешний вид фоторезиста | Прозрачная жидкость коричневого цвета | |
| 2 | Внешний вид пленки фоторезиста | Гладкая без разрывов | |
| 3 | Кинематическая вязкость при (20+0,5) °C мм2/сек | 10-13 | 140-160 |
| 4 | Разрешающая способность, мкм, не более | 8,0 | 8,0 |
| 5 | Проявитель | Уайт-спирит | |
| No | Характеристики | Норма | |
| ФН-11Сн | ФН-11СКн | ||
| 1 | Внешний вид фоторезиста | Прозрачная жидкость | |
| 2 | Внешний вид пленки фоторезиста | Гладкая без разрывов | |
| 3 | Кинематическая вязкость при (20+0,5) °C мм2/сек | 25-30 | 180-250 |
| 4 | Разрешающая способность, мкм, не более | 8,0 | 8,0 |
| 5 | Толщина пленки, мкм | 0,9-1,1 | 3,5-4,5 |
| 6 | Проявитель | Уайт-спирит | |
| No | Характеристики | Норма |
| ФН-11Сф | ||
| 1 | Внешний вид фоторезиста | Прозрачная жидкость коричневого цвета |
| 2 | Внешний вид пленки фоторезиста | Гладкая без разрывов |
| 3 | Кинематическая вязкость при (20+0,5) °C мм2/сек | 18-25 |
| 4 | Разрешающая способность, мкм, не более | 8,0 |
| 5 | Толщина пленки, мкм | 0,9-1,11 |
| 6 | Проявитель | Уайт-спирит, ПН-1Ф |
При проявлении негативных фоторезистов возникает проблема визуализации изображения. Негативные фоторезисты представляют собой бесцветный раствор. Пленка негативного фоторезиста толщиной 1-2 мкм на подложках невидима. Полученный рисунок на подложке после проявления также невидим. Это существенно затрудняет контроль над качеством экспонирования и проявления. Для решения этой проблемы предлагается использовать для проявления окрашенный в черный цвет проявитель ПН-1Ф, взамен стандартного проявителя уайт-спирит. При проявлении краситель, входящий в состав проявителя ПН-1Ф проникает в пленку фоторезиста, что обеспечивает контрастный рисунок. Проявитель ПН-1Ф представляет собой жидкость черного цвета с диапазоном кипения 135-195 градусов Цельсия и плотностью 0,75-0,85 г/куб. см.
Срок поставки проявителя ПН-1Ф - 2 месяца после оплаты.